Массоперенос первоначально имплантированной примеси в материалах при многократном воздействии мощных ионных пучков
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 307, № 4.— 2004.— [С. 71-74] |
|---|---|
| Altri autori: | , , , , , , , |
| Riassunto: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Приводятся результаты экспериментальных исследований закономерностей массопереноса в системах Ti-Si, Ti-Fe при многократных чередующихся процессах "ионная имплантация − облучение мощным ионным пучком" с удельным энерговкладом≤2,0 Дж/см2. Проведен анализ конечного состояния поверхности образцов; особое внимание уделено выбору режимов обработки, обеспечивающих увеличение глубины внедрения имплантированной примеси и улучшение морфологии поверхности. |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2004
|
| Serie: | Технические науки |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i4/14.pdf |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=169725 |
| Descrizione fisica: | 1 файл (2.4 Мб) |
|---|---|
| Riassunto: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Приводятся результаты экспериментальных исследований закономерностей массопереноса в системах Ti-Si, Ti-Fe при многократных чередующихся процессах "ионная имплантация − облучение мощным ионным пучком" с удельным энерговкладом≤2,0 Дж/см2. Проведен анализ конечного состояния поверхности образцов; особое внимание уделено выбору режимов обработки, обеспечивающих увеличение глубины внедрения имплантированной примеси и улучшение морфологии поверхности. |