Массоперенос первоначально имплантированной примеси в материалах при многократном воздействии мощных ионных пучков; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 4

Detalles Bibliográficos
Parent link:Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000-
Т. 307, № 4.— 2004.— [С. 71-74]
Outros autores: Петров А. В. Александр Васильевич, Полковникова Н. М., Рябчиков А. И. Александр Ильич, Сохорева В. В. Валентина Викторовна, Степанов И. Б. Игорь Борисович, Струц В. К., Усов Ю. П. Юрий Петрович, Шулепов И. А. Иван Анисимович
Summary:Заглавие с титульного листа
Электронная версия печатной публикации
Приводятся результаты экспериментальных исследований закономерностей массопереноса в системах Ti-Si, Ti-Fe при многократных чередующихся процессах "ионная имплантация − облучение мощным ионным пучком" с удельным энерговкладом≤2,0 Дж/см2. Проведен анализ конечного состояния поверхности образцов; особое внимание уделено выбору режимов обработки, обеспечивающих увеличение глубины внедрения имплантированной примеси и улучшение морфологии поверхности.
Idioma:ruso
Publicado: 2004
Series:Технические науки
Subjects:
Acceso en liña:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i4/14.pdf
Formato: Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=169725
Descripción
Descrición Física:1 файл (2.4 Мб)
Summary:Заглавие с титульного листа
Электронная версия печатной публикации
Приводятся результаты экспериментальных исследований закономерностей массопереноса в системах Ti-Si, Ti-Fe при многократных чередующихся процессах "ионная имплантация − облучение мощным ионным пучком" с удельным энерговкладом≤2,0 Дж/см2. Проведен анализ конечного состояния поверхности образцов; особое внимание уделено выбору режимов обработки, обеспечивающих увеличение глубины внедрения имплантированной примеси и улучшение морфологии поверхности.