| Summary: | В монографии рассматриваются процессы хемостимулированного термического окисления бинарных полупроводников A'"BV, обеспечивающие целенаправленное химическое воздействие на кинетику и механизм гетерогенных реакций в открытых тонкопленочных системах при создании функциональных гетероструктур диэлектрик-полупроводник. Обсуждаются преимущества химических методов управления маршрутами многоканальных реакций (кинетическое сопряжение, транзит, гетерогенный катализ), обусловленные разнообразием химической природы вводимых соединений-активаторов и возможными взаимодействиями между ними. Выявляются закономерности и особенности нелинейных эффектов, наблюдаемых при совместном воздействии нескольких активаторов. Монография может быть полезной для специалистов, занимающихся исследованиями в области неорганической химии, химии твердого тела и полупроводников, химического материаловедения, а также для студентов старших курсов, обучающихся по соответствующим направлениям. |
|---|
