Ч. 1; Технологические основы микроэлектроники

Մատենագիտական մանրամասներ
Parent link:Технологические основы микроэлектроники: учебное пособие/ Б. М. Симонов, А. В. Заводян; Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ) ; под ред. С. П. Тимошенкова. Ч. 1.— , 2008
Ամփոփում:Изложены основные технологии создания интегральных схем (ИС) и преимущественно сверхбольших ИС (СБИС), включая новейшие достижения в области субмикронной технологии. В первой части пособия представлены наиболее важные теоретические положения, составляющие суть технологических процессов в микроэлектронике (МЭ), и направления их развития. Материал пособия основан на опыте преподавания дисциплин "ТИКИМС", "Физические основы МЭ" и смежных с ними и предназначен для студентов факультетов МПиТК, ЭТМО, ПрИТ МИЭТ. Может быть полезен аспирантам и специалистам, занятым в сфере микроэлектроники.
Լեզու:ռուսերեն
Հրապարակվել է: 2008
Խորագրեր:
Ձևաչափ: Գիրք
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=164265

Նմանատիպ նյութեր