Ч. 1; Технологические основы микроэлектроники
| Parent link: | Технологические основы микроэлектроники: учебное пособие/ Б. М. Симонов, А. В. Заводян; Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ) ; под ред. С. П. Тимошенкова. Ч. 1.— , 2008 |
|---|---|
| Ամփոփում: | Изложены основные технологии создания интегральных схем (ИС) и преимущественно сверхбольших ИС (СБИС), включая новейшие достижения в области субмикронной технологии. В первой части пособия представлены наиболее важные теоретические положения, составляющие суть технологических процессов в микроэлектронике (МЭ), и направления их развития. Материал пособия основан на опыте преподавания дисциплин "ТИКИМС", "Физические основы МЭ" и смежных с ними и предназначен для студентов факультетов МПиТК, ЭТМО, ПрИТ МИЭТ. Может быть полезен аспирантам и специалистам, занятым в сфере микроэлектроники. |
| Լեզու: | ռուսերեն |
| Հրապարակվել է: |
2008
|
| Խորագրեր: | |
| Ձևաչափ: | Գիրք |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=164265 |
Նմանատիպ նյութեր
Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)
Հրապարակվել է: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)
Вып. 35 : Физико-математическая серия; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Հրապարակվել է: (1977)
Հրապարակվել է: (1977)
Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
: Терехов А. И.
Հրապարակվել է: (Иваново, ИГЭУ, 2018)
: Терехов А. И.
Հրապարակվել է: (Иваново, ИГЭУ, 2018)
Технологические проблемы микроэлектроники
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 1988)
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 1988)
Точное машиностроение для микроэлектроники
: Онегин Е. Е. Евгений Евгеньевич
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1986)
: Онегин Е. Е. Евгений Евгеньевич
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1986)
Основы микроэлектроники: учебное пособие для вузов
: Степаненко И. П. Игорь Павлович
Հրապարակվել է: (Москва, Лаборатория Базовых Знаний, 2004)
: Степаненко И. П. Игорь Павлович
Հրապարակվել է: (Москва, Лаборатория Базовых Знаний, 2004)
Основы микроэлектроники: учебное пособие для вузов
: Степаненко И. П. Игорь Павлович
Հրապարակվել է: (Москва, Лаборатория Базовых Знаний, 2003)
: Степаненко И. П. Игорь Павлович
Հրապարակվել է: (Москва, Лаборатория Базовых Знаний, 2003)
Физические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1986)
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1986)
Проблемы микроэлектроники: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1986)
Հրապարակվել է: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1986)
Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)
Проблемы литографии в микроэлектронике
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 1987)
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 1987)
Введение в современную микро-и наносистемную технику: учебное пособие
: Гридчин А. В. Александр Викторович
Հրապարակվել է: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)
: Гридчин А. В. Александр Викторович
Հրապարակվել է: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)
Основы микроэлектроники: учебное пособие
: Аваев Н. А. Николай Александрович
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1991)
: Аваев Н. А. Николай Александрович
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1991)
Основы микроэлектроники: учебник
: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Հրապարակվել է: (СПб., Лань, 2008)
: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Հրապարակվել է: (СПб., Лань, 2008)
Основы микроэлектроники: учебное пособие для вузов
: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Հրապարակվել է: (Москва, Связь, 1975)
: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Հրապարակվել է: (Москва, Связь, 1975)
Контроль в технологии микроэлектроники
: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Հրապարակվել է: (Минск, Наука и техника, 1979)
: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Հրապարակվել է: (Минск, Наука и техника, 1979)
Вып. 38 : Спецматериалы для микроэлектронике; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Հրապարակվել է: (1978)
Հրապարակվել է: (1978)
Основы микроэлектроники: учебник
: Игумнов Д. В. Дмитрий Васильевич
Հրապարակվել է: (Москва, Высшая школа, 1991)
: Игумнов Д. В. Дмитрий Васильевич
Հրապարակվել է: (Москва, Высшая школа, 1991)
Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Հրապարակվել է: (2011)
Հրապարակվել է: (2011)
Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
Հրապարակվել է: (Москва, Энергия, 1979)
: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
Հրապարակվել է: (Москва, Энергия, 1979)
Микроэлектроника
: Гаврилов С. Н. Сергей Николаевич
Հրապարակվել է: (Москва, Энергия, 1970)
: Гаврилов С. Н. Сергей Николаевич
Հրապարակվել է: (Москва, Энергия, 1970)
Основы микроэлектроники: учебное пособие для вузов
: Коваленко А. А. Андрей Андреевич
Հրապարակվել է: (Москва, Академия, 2008)
: Коваленко А. А. Андрей Андреевич
Հրապարակվել է: (Москва, Академия, 2008)
Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники
: Гиваргизов Е. И. Евгений Инвиевич
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 1988)
: Гиваргизов Е. И. Евгений Инвиевич
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 1988)
Основы микроэлектроники: учебное пособие
: Коваленко А. А. Андрей Андреевич
Հրապարակվել է: (Москва, Академия, 2006)
: Коваленко А. А. Андрей Андреевич
Հրապարակվել է: (Москва, Академия, 2006)
Основные аналоговые схемы микроэлектроники: учебное пособие
: Булеков В. П. Владимир Павлович
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МАИ, 1989)
: Булеков В. П. Владимир Павлович
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МАИ, 1989)
Микроэлектроника: межвузовский сборник; Вып. 2
Հրապարակվել է: (Казань, Изд-во КАИ, 1978)
Հրապարակվել է: (Казань, Изд-во КАИ, 1978)
Математическое и машинное моделирование в микроэлектронике. ММММ-86: доклады школы-семинара, 1986 г., Паланга
Հրապարակվել է: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)
Հրապարակվել է: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)
Неорганические диэлектрики в электронной технике: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)
Микроэлектронные устройства и основы их проектирования: учебник для среднего специального образования
: Николаев И. М. Игорь Моисеевич
Հրապարակվել է: (Москва, Энергия, 1979)
: Николаев И. М. Игорь Моисеевич
Հրապարակվել է: (Москва, Энергия, 1979)
Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Հրապարակվել է: (1978)
Հրապարակվել է: (1978)
Основы микроэлектроники и микропроцессорной техники: учебное пособие
: Смирнов Ю. А. Юрий Александрович
Հրապարակվել է: (Санкт-Петербург, Лань, 2019)
: Смирнов Ю. А. Юрий Александрович
Հրապարակվել է: (Санкт-Петербург, Лань, 2019)
Микроэлектроника и большие системы: пер. с англ.
Հրապարակվել է: (Москва, Мир, 1967)
Հրապարակվել է: (Москва, Мир, 1967)
Микроэлектронная технология и ее влияние на общество: пер. с англ.; сборник статей
Հրապարակվել է: (Москва, Знание, 1987)
Հրապարակվել է: (Москва, Знание, 1987)
[Ч. 1]; Пути повышения стабильности и надежности микроэлементов и микросхем
Հրապարակվել է: (1988)
Հրապարակվել է: (1988)
Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
: Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич
Հրապարակվել է: (2010)
: Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич
Հրապարակվել է: (2010)
Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность: учебное пособие
: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Հրապարակվել է: (Москва, Высшая школа, 1986)
: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Հրապարակվել է: (Москва, Высшая школа, 1986)
Технология, проектирование и применение микроэлектронной аппаратуры: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1979)
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1979)
Основы электроники и микроэлектроники: учебник
: Федосеева Е. О. Елена Осиповна
Հրապարակվել է: (Москва, Искусство, 1990)
: Федосеева Е. О. Елена Осиповна
Հրապարակվել է: (Москва, Искусство, 1990)
Микроэлектроника. Проектирование, виды микросхем, новые направления: учебное пособие
: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Հրապարակվել է: (Москва, Высшая школа, 1978)
: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Հրապարակվել է: (Москва, Высшая школа, 1978)
Микроэлектроника и однородные структуры для построения логических и вычислительных устройств
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 1967)
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 1967)
Նմանատիպ նյութեր
-
Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985) -
Вып. 35 : Физико-математическая серия; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Հրապարակվել է: (1977) -
Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
: Терехов А. И.
Հրապարակվել է: (Иваново, ИГЭУ, 2018) -
Технологические проблемы микроэлектроники
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 1988) -
Точное машиностроение для микроэлектроники
: Онегин Е. Е. Евгений Евгеньевич
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1986)