| Summary: | Изложены основные технологии создания интегральных схем (ИС) и преимущественно сверхбольших ИС (СБИС), включая новейшие достижения в области субмикронной технологии. В первой части пособия представлены наиболее важные теоретические положения, составляющие суть технологических процессов в микроэлектронике (МЭ), и направления их развития. Материал пособия основан на опыте преподавания дисциплин "ТИКИМС", "Физические основы МЭ" и смежных с ними и предназначен для студентов факультетов МПиТК, ЭТМО, ПрИТ МИЭТ. Может быть полезен аспирантам и специалистам, занятым в сфере микроэлектроники. |
|---|
