Ч. 1; Технологические основы микроэлектроники
| Parent link: | Технологические основы микроэлектроники: учебное пособие/ Б. М. Симонов, А. В. Заводян; Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ) ; под ред. С. П. Тимошенкова. Ч. 1.— , 2008 |
|---|---|
| Summary: | Изложены основные технологии создания интегральных схем (ИС) и преимущественно сверхбольших ИС (СБИС), включая новейшие достижения в области субмикронной технологии. В первой части пособия представлены наиболее важные теоретические положения, составляющие суть технологических процессов в микроэлектронике (МЭ), и направления их развития. Материал пособия основан на опыте преподавания дисциплин "ТИКИМС", "Физические основы МЭ" и смежных с ними и предназначен для студентов факультетов МПиТК, ЭТМО, ПрИТ МИЭТ. Может быть полезен аспирантам и специалистам, занятым в сфере микроэлектроники. |
| Language: | Russian |
| Published: |
2008
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=164265 |
| Physical Description: | 160 с. ил. |
|---|---|
| Summary: | Изложены основные технологии создания интегральных схем (ИС) и преимущественно сверхбольших ИС (СБИС), включая новейшие достижения в области субмикронной технологии. В первой части пособия представлены наиболее важные теоретические положения, составляющие суть технологических процессов в микроэлектронике (МЭ), и направления их развития. Материал пособия основан на опыте преподавания дисциплин "ТИКИМС", "Физические основы МЭ" и смежных с ними и предназначен для студентов факультетов МПиТК, ЭТМО, ПрИТ МИЭТ. Может быть полезен аспирантам и специалистам, занятым в сфере микроэлектроники. |
| ISBN: | 9785725605204 |