| Summary: | Освещены вопросы проектирования и технологии изготовления активных твердотельных элементов СВЧ, описана связь их основных электрических параметров с технологическими возможностями современной микроэлектронной технологии. Предложены некоторые схемотехнические решения, позволяющие переводить схемы СВЧ в твердое тело, обозначена перспектива технологического и схемотехнического развития твердотельных СВЧ-устройств. Предназначено для студентов 5-го курса, обучающихся по специальностям «Конструирование и технология производства электронных средств» и «Телекоммуникация». |