Разработка и применение методов спектроскопии обратного рассеяния быстрых ионов для анализа состава и структуры ионно-облученных слоев диэлектриков

Разработка и применение методов спектроскопии обратного рассеяния быстрых ионов для анализа состава и структуры ионно-облученных слоев диэлектриков

Bibliographic Details
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 303, вып. 3.— 2000.— [С. 12-21]
Other Authors:	Крючков Ю. Ю. Юрий Юрьевич, Малютин В. М. Василий Михайлович, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович, Сохорева В. В. Валентина Викторовна, Франгульян Т. С. Тамара Семёновна
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации В настоящей работе приводится описание экспериментальной установки ТОКАМА-2 для проведения ядерного микроанализа, основанного на резерфордовском обратном рассеянии и ядерных реакциях, с использованием эффекта каналирования. В качестве примера использования данной установки приведены результаты исследования состава и структуры монокристаллов MgO.
Published:	2000
Subjects:	диэлектрики ионное облучение ядерный микроанализ обратное рассеяние спектроскопические методы разработка применение труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2000/v303/i3/02.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=162865

Internet

http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2000/v303/i3/02.pdf