Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники: заключительный отчет о НИР; тема: х/д 5-23/80
| 企业作者: | |
|---|---|
| 其他作者: | , , |
| 语言: | 俄语 |
| 出版: |
Томск, 1981
|
| 主题: | |
| 格式: | 图书 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=160181 |