Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники, заключительный отчет о НИР тема: х/д 5-23/80
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск, 1981
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=160181 |