Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники, заключительный отчет о НИР тема: х/д 5-23/80

Bibliographic Details
Corporate Author: Томский политехнический институт (595)
Other Authors: Каплин А. А. (673), Колпаков В. А. (677), Стромберг А. Г. Армин Генрихович
Language:Russian
Published: Томск, 1981
Subjects:
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=160181