|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
160181 |
| 005 |
20240312162546.0 |
| 029 |
0 |
0 |
|a SU
|b 01830001412
|f ТПУ
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\173712
|
| 090 |
|
|
|a 160181
|
| 100 |
|
|
|a 20090519d1981 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a p 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники
|e заключительный отчет о НИР
|e тема: х/д 5-23/80
|f Томский политехнический институт (ТПИ) ; руководитель А. Г. Стромберг ; руководитель А. А. Каплин ; В. А. Колпаков
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 1981
|
| 215 |
|
|
|a 57 л.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 56-57.
|
| 610 |
1 |
|
|a отчеты о НИР
|
| 610 |
1 |
|
|a инверсионная вольтамперометрия
|
| 610 |
1 |
|
|a анализ
|
| 610 |
1 |
|
|a полярографы
|
| 610 |
1 |
|
|a фоторезисты
|
| 610 |
1 |
|
|a чувствительность
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a методика
|
| 675 |
|
|
|a 621.383(04)
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Каплин
|b А. А.
|4 673
|
| 702 |
|
1 |
|a Колпаков
|b В. А.
|4 677
|
| 702 |
|
1 |
|a Стромберг
|b А. Г.
|c химик, специалист в области классической полярографии и инверсионной вольтамперометрии
|c профессор Томского политехнического института
|f 1910-2004
|g Армин Генрихович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\11188
|4 673
|9 2478
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический институт
|c (1944-1991)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\1123
|4 595
|9 23521
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20090519
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150320
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
