APA (7th ed.) Citation

Томский политехнический институт, Каплин А. А., Колпаков В. А., & Стромберг А. Г. Армин Генрихович. (1981). Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники: заключительный отчет о НИР тема: х/д 5-23/80. Томск, 1981.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Томский политехнический институт, Каплин А. А., Колпаков В. А., and Стромберг А. Г. Армин Генрихович. Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники: заключительный отчет о НИР тема: х/д 5-23/80. Томск, 1981, 1981.

MLA (9th ed.) Citation

Томский политехнический институт, et al. Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники: заключительный отчет о НИР тема: х/д 5-23/80. Томск, 1981, 1981.