Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы анализа

Бібліографічні деталі
Співавтор: СССР Государственный комитет по стандартам (Госстандарт)
Мова:Російська
Опубліковано: Москва, Изд-во стандартов, 1985
Редагування:Изд. офиц.
TOC:ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа;
ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей;
ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора;
ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора;
ГОСТ 26239.4-84 Дихлорсилан. Методы определения примесей;
ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей;
ГОСТ 26239.6-84 Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордиксилоксана, гексахлордиксилоксана, гексахлордисилана;
ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей;
Серія:Государственные стандарты
Предмети:
Формат: Книга
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=158626

Схожі ресурси