Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы анализа
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва, Изд-во стандартов, 1985
|
| Edition: | Изд. офиц. |
| TOC: | ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа; ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей; ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора; ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора; ГОСТ 26239.4-84 Дихлорсилан. Методы определения примесей; ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей; ГОСТ 26239.6-84 Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордиксилоксана, гексахлордиксилоксана, гексахлордисилана; ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей; |
| Series: | Государственные стандарты |
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=158626 |