|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
156705 |
| 005 |
20231031153343.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 81-23649ж
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\169951
|
| 090 |
|
|
|a 156705
|
| 100 |
|
|
|a 20090330d1980 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Квантовая технология
|e межвузовский сборник
|f Ленинградский электротехнический институт (ЛЭТИ) ; под ред. В. Ф. Попова
|
| 210 |
|
|
|a Ленинград
|c Изд-во ЛЭТИ
|d 1980
|
| 215 |
|
|
|a 117 с.
|c ил.
|d 20 см.
|
| 225 |
1 |
|
|a Известия Ленинградского электротехнического института (ЛЭТИ)
|v Вып. 279
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-ионная технология
|
| 610 |
1 |
|
|a научные статьи
|
| 610 |
1 |
|
|a квантовая технология
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a нанесение
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменные методы
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-лучевые методы
|
| 610 |
1 |
|
|a масс-спектрометрия
|
| 610 |
1 |
|
|a электронолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-ионные установки
|
| 675 |
|
|
|a 621.359
|z rus
|
| 702 |
|
1 |
|a Попов
|b В. Ф.
|g Владимир Федорович
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Ленинградский электротехнический институт (ЛЭТИ)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\289
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20090330
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140120
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|