MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 156705
005 20231031153343.0
020 |a RU  |b 81-23649ж 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\169951 
090 |a 156705 
100 |a 20090330d1980 k y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Квантовая технология  |e межвузовский сборник  |f Ленинградский электротехнический институт (ЛЭТИ) ; под ред. В. Ф. Попова 
210 |a Ленинград  |c Изд-во ЛЭТИ  |d 1980 
215 |a 117 с.  |c ил.  |d 20 см. 
225 1 |a Известия Ленинградского электротехнического института (ЛЭТИ)  |v Вып. 279 
610 1 |a электронно-ионная технология 
610 1 |a научные статьи 
610 1 |a квантовая технология 
610 1 |a пленки 
610 1 |a нанесение 
610 1 |a плазменные методы 
610 1 |a электронно-лучевые методы 
610 1 |a масс-спектрометрия 
610 1 |a электронолитография 
610 1 |a электронно-ионные установки 
675 |a 621.359  |z rus 
702 1 |a Попов  |b В. Ф.  |g Владимир Федорович  |4 340 
712 0 2 |a Ленинградский электротехнический институт (ЛЭТИ)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\289 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20090330  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20140120  |g PSBO 
942 |c BK