Квантовая технология межвузовский сборник

Квантовая технология межвузовский сборник

Bibliographic Details
Corporate Author: Ленинградский электротехнический институт (ЛЭТИ)
Other Authors: Попов В. Ф. Владимир Федорович (340)
Published: Ленинград, Изд-во ЛЭТИ, 1980
Series:Известия Ленинградского электротехнического института (ЛЭТИ) Вып. 279
Subjects:
электронно-ионная технология
научные статьи
квантовая технология
пленки
нанесение
плазменные методы
электронно-лучевые методы
масс-спектрометрия
электронолитография
электронно-ионные установки
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=156705

Similar Items