|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
153417 |
| 005 |
20240119135014.0 |
| 029 |
0 |
0 |
|a SU
|b 01890022382
|f ТПУ
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\166445
|
| 090 |
|
|
|a 153417
|
| 100 |
|
|
|a 20090212d1989 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a p 000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Разработка экспериментального образца установки для контроля качества полупроводниковых пластин
|e заключительный отчет о НИР
|e тема: х/д 1-56/88
|f Томский политехнический институт (ТПИ) ; руководитель В. Ф. Штанько ; В. И. Олешко
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 42 л.
|
| 610 |
1 |
|
|a отчеты о НИР
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые пластины
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a экспериментальные установки
|
| 610 |
1 |
|
|a разработка
|
| 610 |
1 |
|
|a качество
|
| 675 |
|
|
|a 539.1.075:621.375(04)
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Штанько
|b В. Ф.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Виктор Федорович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25978
|4 673
|9 11827
|
| 702 |
|
1 |
|a Олешко
|b В. И.
|c специалист в области светотехники
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Владимир Иванович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27390
|4 677
|9 12727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический институт (ТПИ)
|c (1944-1991)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\1123
|4 595
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20090212
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150316
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
