Разработка экспериментального образца установки для контроля качества полупроводниковых пластин, заключительный отчет о НИР тема: х/д 1-56/88
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск, 1989
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=153417 |