Разработка экспериментального образца установки для контроля качества полупроводниковых пластин, заключительный отчет о НИР тема: х/д 1-56/88

Bibliographic Details
Corporate Author: Томский политехнический институт (ТПИ) (595)
Other Authors: Штанько В. Ф. Виктор Федорович (673), Олешко В. И. Владимир Иванович (677)
Language:Russian
Published: Томск, 1989
Subjects:
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=153417