Томский политехнический институт (ТПИ), Штанько В. Ф. Виктор Федорович, & Олешко В. И. Владимир Иванович. (1989). Разработка экспериментального образца установки для контроля качества полупроводниковых пластин: заключительный отчет о НИР; тема: х/д 1-56/88. Томск, 1989.
Cita Chicago (17th ed.)Томский политехнический институт (ТПИ), Штанько В. Ф. Виктор Федорович, i Олешко В. И. Владимир Иванович. Разработка экспериментального образца установки для контроля качества полупроводниковых пластин: заключительный отчет о НИР; тема: х/д 1-56/88. Томск, 1989, 1989.
Cita MLA (9th ed.)Томский политехнический институт (ТПИ), et al. Разработка экспериментального образца установки для контроля качества полупроводниковых пластин: заключительный отчет о НИР; тема: х/д 1-56/88. Томск, 1989, 1989.