Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: учебное пособие; Ч. 2

Détails bibliographiques
Auteur principal: Рощин В. М. Владимир Михайлович
Autres auteurs: Силибин М. В. Максим Викторович
Résumé:Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.
Langue:russe
Publié: Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010
Sujets:
Format: Livre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=150743

MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 150743
005 20231101221516.0
010 |a 9785947749106 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\163437 
090 |a 150743 
100 |a 20090114d2010 m y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 001zy 
200 1 |a Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники  |e учебное пособие  |h Ч. 2  |f В. М. Рощин, М. В. Силибин 
210 |a Москва  |c БИНОМ. Лаборатория знаний  |d 2010 
215 |a 180 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 180. 
330 |a Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области. 
606 1 |a Электронное материаловедение  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20416  |9 45522 
610 1 |a микроэлектроника 
610 1 |a оптоэлектроника 
610 1 |a наноэлектроника 
610 1 |a материаловедение 
610 1 |a получение 
610 1 |a элементарные вещества 
610 1 |a металлы 
610 1 |a легирующие элементы 
610 1 |a диэлектрические материалы 
610 1 |a углеродные материалы 
610 1 |a металлорганические соединения 
610 1 |a некристаллические материалы 
610 1 |a вспомогательные материалы 
610 1 |a технология 
610 1 |a учебные пособия 
675 |a 621.38.002.3(075.8)  |v 3 
700 1 |a Рощин  |b В. М.  |g Владимир Михайлович 
701 1 |a Силибин  |b М. В.  |g Максим Викторович 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20090114  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150914  |g RCR 
900 |a Технология материалов и изделий электронной техники 
942 |c BK 
951 |b 210100 
959 |a 4/20090113  |d 2  |e 0  |f АНЛ:1  |f ЧЗТЛ:1 
959 |a 107/20091016  |d 2  |e 0  |f АНЛ:1  |f ЧЗТЛ:1