Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники, учебное пособие
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Summary: | Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области. |
| Published: |
Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=150743 |