Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники, учебное пособие
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| الملخص: | Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области. |
| منشور في: |
Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010
|
| الموضوعات: | |
| التنسيق: | كتاب |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=150743 |