Полупроводниковые плёнки InP полученные методом импульсного ионного осаждения; Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники)

Полупроводниковые плёнки InP полученные методом импульсного ионного осаждения; Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники)

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники).— 2007.— С. 427-429
Andre forfattere:	Салтымаков М. С. Максим Сергеевич, Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович, Ивонин И. В., Найден Е. П., Юрченко В. И.
Sprog:	russisk
Udgivet:	2007
Fag:	плёнки ионное осаждение импульсное осаждение полупроводниковые плёнки труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=137291

Lignende værker

Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Udgivet: (Томск, 2010)

Т. 1; Технология тонких пленок
Udgivet: (1977)

Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Udgivet: (Томск, 2010)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
af: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Udgivet: (Томск, 1998)

Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Udgivet: (Томск, 2010)

Полупроводниковые пленки для микроэлектроники
Udgivet: (Новосибирск, Наука, 1977)

О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения; Современное состояние естественных и технических наук
af: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Udgivet: (2014)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
af: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 1998)

Основы полупроводниковой микроэлектроники: учебное пособие для среднего профессионально-технического образования
af: Курносов А. И. Анатолий Иванович
Udgivet: (Москва, Высшая школа, 1980)

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
af: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2006)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
af: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Udgivet: (Томск, 2023)

Вып. 35 : Физико-математическая серия; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Udgivet: (1977)

Микроструктура и свойства пленок Co, формируемых методом химического осаждения; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
af: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Udgivet: (2013)

О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Гренадёров А. С.
Udgivet: (2018)

Study of calcium-phosphate films obtained by pulsed laser deposition; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
af: Lenivtseva Yu. D. Yuliya Dmitrievna
Udgivet: (2014)

Microstructure of amorphous copper-carbon thin films formed by plasma-enhanced chemical vapor deposition; High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes; Vol. 20, iss. 2
Udgivet: (2016)

Фотолюминесценция аморфного углерода в плёнках a-C:C60, полученных осаждением фуллеренов С60; Письма в Журнал технической физики; Т. 28, вып. 14
af: Васин А. В.
Udgivet: (2002)

Температурные условия CVD-осаждения как определяющий фактор в формировании плёнок кобальта с заданными эксплуатационными характеристиками; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Udgivet: (2014)

Selective deposition of polycrystalline diamond films using photolithography with addition of nanodiamonds as nucleation centers; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 116 : Advanced Materials and New Technologies in Modern Materials Science
Udgivet: (2016)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
af: Васильев В. Ю.
Udgivet: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Влияние температуры испарителя на магнитные свойства пленок кобальта, нанесенных методом химического осаждения из газовой фазы (MOCVD); Современные техника и технологии; Т. 2
af: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Udgivet: (2013)

Осаждение из газовой фазы: сокр. пер. с англ.
Udgivet: (Москва, Атомиздат, 1970)

Закономерности структурообразования пленок CO, полученных методом CVD из диимината кобальта, в зависимости от температурных условий осаждения; Современное состояние и проблемы естественных наук
af: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Udgivet: (2014)

Рентгеноструктурные исследования пленок Co, полученных методом CVD; Высокие технологии в современной науке и технике
af: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Udgivet: (2014)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
af: Ли Цзень Фень
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2006)

Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; Спец. 01.04.07
af: Тарала В. А. Виталий Алексеевич
Udgivet: (Нальчик, 2013)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
af: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Udgivet: (2016)

Deposition and Patterning of Polycrystalline Diamond Films Using Traditional Photolithography and Reactive Ion Etching; Coatings; Vol. 7, iss. 9
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2017)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
af: Ли Цзень Фень
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2006)

Электролитически осажденные магнитные пленки
af: Ильющенко Л. Ф. Лариса Федоровна
Udgivet: (Минск, Наука и техника, 1979)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
af: Смирнова К. И.
Udgivet: (Томск, 1971)

Реактивное осаждение пленок Al(2)O(3) с помощью дуальной МРС; Современные техника и технологии; Т. 3
af: Азина М. А.
Udgivet: (2011)

Reversible switching of PEDOT:PSS conductivity in the dielectric-conductive range through the redistribution of light-governing polymers; RSC Advances; Vol. 8, iss. 20
Udgivet: (2018)

Hot target magnetron sputtering for ferromagnetic films deposition; Surface and Coatings Technology; Vol. 334
Udgivet: (2018)

Осаждение пленок арсенида галлия методом импульсной ионной абляции и их свойства; Физика твердого тела
Udgivet: (2009)

Электролитически осажденные магнтные пленки
af: Ильюшенко Л. Ф.
Udgivet: (Минск, Наука и техника, 1972)

The dynamic sublayers for improving the adhesion of CVD diamond films on copper; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
af: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Udgivet: (2017)

Актуальные проблемы материаловедения: [сборник обзоров]; пер. с англ.; Вып. 2
Udgivet: (Москва, Мир, 1980)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
af: Данилин Б. С. Борис Степанович
Udgivet: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Модификация материалов с использованием мощных ионных пучков; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 303, вып. 2 : Радиационная физика твердого тела и радиационные технологии
af: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Udgivet: (2000)