Полупроводниковые плёнки InP полученные методом импульсного ионного осаждения
| Parent link: | Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XIII Международной научно-технической конференции, Москва, 6-8 сентября 2007 г./ Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш" [и др.]. С. 427-429.— , 2007.— 5-902740-04-5 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Language: | Russian |
| Published: |
2007
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=137291 |