|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
137291 |
| 005 |
20231031141018.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\148786
|
| 090 |
|
|
|a 137291
|
| 100 |
|
|
|a 20080507d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Полупроводниковые плёнки InP полученные методом импульсного ионного осаждения
|f М. С. Салтымаков [и др.]
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 8 назв.
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\140533
|y 5-902740-04-5
|t Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники)
|o материалы XIII Международной научно-технической конференции, Москва, 6-8 сентября 2007 г.
|f Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш" [и др.]
|v С. 427-429
|d 2007
|p 456 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 701 |
|
1 |
|a Салтымаков
|b М. С.
|c физик
|c младший научный сотрудник Томского политехнического университета
|f 1982-
|g Максим Сергеевич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30452
|
| 701 |
|
1 |
|a Ремнев
|b Г. Е.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1948-
|g Геннадий Ефимович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004
|
| 701 |
|
1 |
|a Ивонин
|b И. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Найден
|b Е. П.
|
| 701 |
|
1 |
|a Юрченко
|b В. И.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080507
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150608
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
