|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
135379 |
| 005 |
20231214151702.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\146724
|
| 090 |
|
|
|a 135379
|
| 100 |
|
|
|a 20080410d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Методы получения тонкоплёночных покрытий в вакууме
|f Е. А. Ибрагимов
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 5 назв.
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\136479
|t Инновационные технологии и экономика в машиностроении
|o V Всероссийская научно-практическая конференция с международным участием, г. Юрга 14-15 сентября 2007 г.
|o труды
|f Томский политехнический университет (ТПУ) ; Юргинский технологический институт (филиал) ; под ред. Д. А. Чинахова
|v С. 234-238
|d 2007
|p 558 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкоплёночные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуум
|
| 610 |
1 |
|
|a методы получения
|
| 610 |
1 |
|
|a испарение
|
| 610 |
1 |
|
|a испарители
|
| 610 |
1 |
|
|a плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a испарительные устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Ибрагимов
|b Е. А.
|c специалист в области машиностроения
|c старший преподаватель Юргинского технологического института (филиала) Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1983-
|g Егор Артурович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27431
|9 12741
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080410
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160805
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
