Методы получения тонкоплёночных покрытий в вакууме
| Parent link: | Инновационные технологии и экономика в машиностроении.— 2007.— С. 234-238 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Language: | Russian |
| Published: |
2007
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=135379 |