Введение в фотолитографию

Dades bibliogràfiques
Altres autors:	Лаврищев В. П. Вадим Петрович (редактор)
Idioma:	rus
Publicat:	Москва, Энергия, 1977
Matèries:	фотолитография полупроводниковые приборы производства терминология фоторезисты фотошаблоны пленкообразование перенос изображение голографическая техника
Format:	MixedMaterials Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=134814

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	134814
005	20231031135844.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\146124
090			\|a 134814
100			\|a 20080404d1977 m y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Введение в фотолитографию \|f под ред. В. П. Лаврищева
210			\|a Москва \|c Энергия \|d 1977
215			\|a 400 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 379-397
610	1		\|a фотолитография
610	1		\|a полупроводниковые приборы
610	1		\|a производства
610	1		\|a терминология
610	1		\|a фоторезисты
610	1		\|a фотошаблоны
610	1		\|a пленкообразование
610	1		\|a перенос
610	1		\|a изображение
610	1		\|a голографическая техника
675			\|a 655.226.4 \|v 4
675			\|a 621.382.002 \|v 4
702		1	\|a Лаврищев \|b В. П. \|g Вадим Петрович \|4 340
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20080404 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20180622 \|g PSBO
942			\|c BK