Введение в фотолитографию

Bibliographic Details
Other Authors:	Лаврищев В. П. Вадим Петрович (340)
Published:	Москва, Энергия, 1977
Subjects:	фотолитография полупроводниковые приборы производства терминология фоторезисты фотошаблоны пленкообразование перенос изображение голографическая техника
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=134814

Similar Items