Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Смирнова К. И.
Korporativní autor:	Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР)
Další autoři:	Воробьев А. А. Александр Акимович (научный руководитель)
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Томск, 1971
Témata:	осаждение пленки нитрид кремния ионно - реактивный метод свойства химические реакции катодное распыление конструкции высокий вакуум электрофизические свойства ток давление температура ионы азота диэлектрические пленки исследования диссертации труды учёных ТПУ
Médium:	Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=133192

Podobné jednotky

Структурные и электрофизические свойства плёнок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.8
Autor: Герасимова А. А. Алина Константиновна
Vydáno: (Новосибирск, 2023)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Vydáno: (2011)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум
Vydáno: (Москва, Учеба, 2007)

Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Autor: Петраков Ю. В.
Vydáno: (2017)

Магнитные металлические пленки в микроэлектронике
Autor: Иванов Р. Д. Роберт Дмитриевич
Vydáno: (Москва, Советское радио, 1980)

Технология изготовления ферромагнитных пленок
Autor: Апокин И. А. Игорь Алексеевич
Vydáno: (Москва, Энергия, 1966)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Autor: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Vydáno: (Москва, Техносфера, 2014)

Технология производства тонкопленочных гибридных интегральных микросхем: учебное пособие
Autor: Мевис А. Ф.
Vydáno: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1979)

Ионно-активированная кристаллизация пленок
Autor: Лютович А. С.
Vydáno: (Ташкент, Фан, 1982)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Autor: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Vydáno: (Москва, Техносфера, 2010)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
Autor: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Vydáno: (Минск, Наука и техника, 1989)

Т. 1; Технология тонких пленок
Vydáno: (1977)

Инженерия поверхностей металлов и сплавов с использованием многокомпонентных плазменных потоков и ионно-ассистированного осаждения
Autor: Белый А. В.
Vydáno: (Минск, Белорусская наука, 2024)

Влияние отжига на структурные, магнитные и релаксационные свойства композитных плёнок; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Vydáno: (2011)

Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
Autor: Овечкин В. И.
Vydáno: (2009)

Оптимизация толщины водородонепроницаемых покрытий на основе нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Autor: Фу Сияо
Vydáno: (2017)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
Autor: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2016)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
Autor: Васильев В. Ю.
Vydáno: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Свойства пленок двуокиси кремния, полученных электронно - плазменным методом: Отчет о НИР; Тема : № х/д № 113/67
Vydáno: (Томск, 1970)

Гиганский магнитный импеданс как метод исследования магнитных плёночных наноструктур; Современные техника и технологии; Т. 3
Autor: Волчков С. О.
Vydáno: (2010)

Установка для измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок; Университетская научно-практическая отчетная конференция студентов и молодых ученых; 14-16 мая 2003, г. Томск
Autor: Булычев А. А.
Vydáno: (2003)

Электрические и фотоэлектрические свойства пленок, осажденных на нитриде бора из электроразрядной титансодержащей плазмы; Взаимодействие излучений с твердым телом
Autor: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Vydáno: (2013)

Нанесение плёнок нитрида титана на легкоплавкие диэлектрические материалы; Изотопы: технологии, материалы и применение
Autor: Мюсова А. Е.
Vydáno: (2021)

Оптические свойства пленок ITO; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
Autor: Петрюк А. Е.
Vydáno: (2018)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
Autor: Васильев В. Ю.
Vydáno: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Структура компонентов БИС
Autor: Эдельман Ф. Л. Феликс Леонидович
Vydáno: (Новосибирск, Наука, 1980)

Исследование пористых многофункциональных пленок диоксида кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
Autor: Засухин Д. И.
Vydáno: (2012)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
Autor: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Vydáno: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
Autor: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2016)

Формирование нитрида молибдена на поверхности наноразмерных плёнок оксида молибдена (VI); Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Autor: Бугерко Л. Н.
Vydáno: (2011)

Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; Спец. 01.04.07
Autor: Тарала В. А. Виталий Алексеевич
Vydáno: (Нальчик, 2013)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
Autor: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Vydáno: (Томск, 2005)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron; Известия вузов. Физика; V. 58, № 9-3
Autor: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Vydáno: (2015)

Влияние температурного режима спекания на структуру керамики на основе нитрида кремния и нитрида алюминия; Химия и химическая технология в XXI веке
Autor: Орехов А. С.
Vydáno: (2019)

Система автоматизированного измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок; Радиационная физика и химия неорганических материалов. РФХ - 2003
Autor: Булычева А. А.
Vydáno: (2003)

Нитрид кремния и материалы на его основе
Autor: Андриевский Р. А. Ростислав Александрович
Vydáno: (Москва, Металлургия, 1984)

Structure and Phase Composition of Multilayer AlN/SiN Films Irradiated with Helium Ions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 12, iss. 6
Vydáno: (2018)

Нитрид кремния в электронике
Vydáno: (Новосибирск, Наука, 1982)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
Autor: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Vydáno: (2009)

Ионно-плазменное напыление установка ионно-плазменного напыления; Актуальные проблемы современного машиностроения
Autor: Дрелих И. В.
Vydáno: (2014)