Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния, Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Смирнова К. И.
Ente Autore:	Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР)
Altri autori:	Воробьев А. А. Александр Акимович (727)
Pubblicazione:	Томск, 1971
Soggetti:	осаждение пленки нитрид кремния ионно - реактивный метод свойства химические реакции катодное распыление конструкции высокий вакуум электрофизические свойства ток давление температура ионы азота диэлектрические пленки исследования диссертации труды учёных ТПУ
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=133192

Documenti analoghi

Структурные и электрофизические свойства плёнок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 1.3.8
di: Герасимова А. А. Алина Константиновна
Pubblicazione: (Новосибирск, 2023)

Т. 2: Технологические аспекты
Pubblicazione: (2011)

Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния
di: Петраков Ю. В.
Pubblicazione: (2017)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы лабораторный практикум
Pubblicazione: (Москва, Учеба, 2007)

Магнитные металлические пленки в микроэлектронике
di: Иванов Р. Д. Роберт Дмитриевич
Pubblicazione: (Москва, Советское радио, 1980)

Технология изготовления ферромагнитных пленок
di: Апокин И. А. Игорь Алексеевич
Pubblicazione: (Москва, Энергия, 1966)

Технология производства тонкопленочных гибридных интегральных микросхем учебное пособие
di: Мевис А. Ф.
Pubblicazione: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1979)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
di: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2014)

Ионно-активированная кристаллизация пленок
di: Лютович А. С.
Pubblicazione: (Ташкент, Фан, 1982)

Влияние отжига на структурные, магнитные и релаксационные свойства композитных плёнок
Pubblicazione: (2011)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
di: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Pubblicazione: (Минск, Наука и техника, 1989)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
di: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2010)

Оптимизация толщины водородонепроницаемых покрытий на основе нитрида титана
di: Фу Сияо
Pubblicazione: (2017)

Установка для измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок
di: Булычев А. А.
Pubblicazione: (2003)

Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения
di: Овечкин В. И.
Pubblicazione: (2009)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
di: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2016)

Формирование нитрида молибдена на поверхности наноразмерных плёнок оксида молибдена (VI)
di: Бугерко Л. Н.
Pubblicazione: (2011)

Оптические свойства пленок ITO
di: Петрюк А. Е.
Pubblicazione: (2018)

Свойства пленок двуокиси кремния, полученных электронно - плазменным методом Отчет о НИР Тема : № х/д № 113/67
Pubblicazione: (Томск, 1970)

Инженерия поверхностей металлов и сплавов с использованием многокомпонентных плазменных потоков и ионно-ассистированного осаждения
di: Белый А. В.
Pubblicazione: (Минск, Белорусская наука, 2024)

Исследование пористых многофункциональных пленок диоксида кремния
di: Засухин Д. И.
Pubblicazione: (2012)

Гиганский магнитный импеданс как метод исследования магнитных плёночных наноструктур
di: Волчков С. О.
Pubblicazione: (2010)

Нанесение плёнок нитрида титана на легкоплавкие диэлектрические материалы
di: Мюсова А. Е.
Pubblicazione: (2021)

Электрические и фотоэлектрические свойства пленок, осажденных на нитриде бора из электроразрядной титансодержащей плазмы
di: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Pubblicazione: (2013)

Структура компонентов БИС
di: Эдельман Ф. Л. Феликс Леонидович
Pubblicazione: (Новосибирск, Наука, 1980)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.15
di: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Pubblicazione: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
di: Васильев В. Ю.
Pubblicazione: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
di: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2016)

Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук Спец. 01.04.07
di: Тарала В. А. Виталий Алексеевич
Pubblicazione: (Нальчик, 2013)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
di: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Pubblicazione: (Томск, 2005)

Система автоматизированного измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок
di: Булычева А. А.
Pubblicazione: (2003)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
di: Васильев В. Ю.
Pubblicazione: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron
di: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Pubblicazione: (2015)

Влияние температурного режима спекания на структуру керамики на основе нитрида кремния и нитрида алюминия
di: Орехов А. С.
Pubblicazione: (2019)

Structure and Phase Composition of Multilayer AlN/SiN Films Irradiated with Helium Ions
Pubblicazione: (2018)

Т. 1
Pubblicazione: (1977)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
di: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Pubblicazione: (2009)

Получение керамических материалов триботехнического назначения на основе нитрида кремния
di: Беляченков И. О.
Pubblicazione: (2018)

Ионно-плазменное напыление установка ионно-плазменного напыления
di: Дрелих И. В.
Pubblicazione: (2014)

Нитрид кремния и материалы на его основе
di: Андриевский Р. А. Ростислав Александрович
Pubblicazione: (Москва, Металлургия, 1984)