Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Смирнова К. И.
Corporate Author:	Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР)
Other Authors:	Воробьев А. А. Александр Акимович (научный руководитель)
Language:	Russian
Published:	Томск, 1971
Subjects:	осаждение пленки нитрид кремния ионно - реактивный метод свойства химические реакции катодное распыление конструкции высокий вакуум электрофизические свойства ток давление температура ионы азота диэлектрические пленки исследования диссертации труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=133192

Similar Items