|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
133192 |
| 005 |
20231031135237.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\144321
|
| 090 |
|
|
|a 133192
|
| 100 |
|
|
|a 20080313d1971 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния
|e Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|f К. И. Смирнова
|g Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР) ; науч. рук. А. А. Воробьев
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 1971
|
| 215 |
|
|
|a 126 л.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 117 -126 ( 128 назв.)
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a нитрид кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно - реактивный метод
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a химические реакции
|
| 610 |
1 |
|
|a катодное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a конструкции
|
| 610 |
1 |
|
|a высокий вакуум
|
| 610 |
1 |
|
|a электрофизические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a ток
|
| 610 |
1 |
|
|a давление
|
| 610 |
1 |
|
|a температура
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы азота
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 539.216(04)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.385(04)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Смирнова
|b К. И.
|
| 702 |
|
1 |
|a Воробьев
|b А. А.
|c российский физик
|c ректор Томского политехнического института, профессор
|f 1909-1981
|g Александр Акимович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\12805
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР)
|c (1971-1993)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\3065
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080313
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121005
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
