Смирнова К. И. & Воробьев А. А. Александр Акимович. (1971). Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Томск, 1971.
Chicago Style (17th ed.) CitationСмирнова К. И. and Воробьев А. А. Александр Акимович. Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Томск, 1971, 1971.
MLA (9th ed.) CitationСмирнова К. И. and Воробьев А. А. Александр Акимович. Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Томск, 1971, 1971.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.