Плазменное анодирование: физика, техника, применение в микроэлектронике

Bibliographic Details
Main Author:	Пархутик В. П. Виталий Петрович
Other Authors:	Лабунов В. А. Владимир Архипович
Language:	Russian
Published:	Минск, Наука и техника, 1990
Subjects:	физика техника микроэлектроника плазменное анодирование оксидные пленки получение устройства конструирование методы исследования рост физические механизмы свойства
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=132028

Similar Items