Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов

Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ:	Марголин В. И. Владимир Игоревич
Այլ հեղինակներ:	Жабрев В. А. Валентин Александрович, Тупик В. А. Виктор Анатольевич
Ամփոփում:	Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений.
Լեզու:	ռուսերեն
Հրապարակվել է:	Москва, Академия, 2008
Շարք:	Высшее профессиональное образование. Радиоэлектроника
Խորագրեր:	Микроэлектроника физические основы квантовая механика твердые тела электронные состояния вещество кристаллическое состояние аморфное состояние кристаллические решетки энергия связи молекулярные связи ионные связи ковалентная связь металлическая связь квазичастицы фуллерены углеродные соединения фрактальная геометрия фрактальная физика фракталы мультифракталы нелинейная динамика полупроводниковая микроэлектроника элементная база тонкие пленки литографические методы фотолитография рентгеновская литография электронная литография поверхностные структуры модификация диффузия лазерное легирование ионное легирование ионная имплантация термический отжиг электронная микроскопия метрология контроль учебники
Ձևաչափ:	Գիրք
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=130907

Նմանատիպ նյութեր

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство
‌: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Հրապարակվել է: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 1987)

Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы
Հրապարակվել է: (1990)

Точное машиностроение для микроэлектроники
‌: Онегин Е. Е. Евгений Евгеньевич
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1986)

Моделирование технологических процессов микроэлектроники
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 1992)

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
‌: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Հրապարակվել է: (Минск, Наука и техника, 1983)

Теоретические основы химии:
‌: Юстратов В. П.
Հրապարակվել է: (Кемерово, КемГУ, 2021)

Вып. 38 : Спецматериалы для микроэлектронике; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Հրապարակվել է: (1978)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
‌: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Հրապարակվել է: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Химия учебное пособие
‌: Юстратов В. П.
Հրապարակվել է: (Кемерово, КемГУ, 2021)

Микроэлектроника: учебное пособие
‌: Бондарь Б. Г. Борис Георгиевич
Հրապարակվել է: (Киев, Вища школа, 1981)

О геометрических фракталах; Исследования молодых - регионам; Т. 1
‌: Кузьминский Г.
Հրապարակվել է: (2011)

Технологические проблемы микроэлектроники
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 1988)

Основы микроэлектроники: учебник
‌: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Հրապարակվել է: (СПб., Лань, 2008)

Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
‌: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
Հրապարակվել է: (Москва, Энергия, 1979)

Основы микроэлектроники: учебное пособие для вузов
‌: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Հրապարակվել է: (Москва, Связь, 1975)

Строение атома. Химическая связь учебное пособие
‌: Громова Е. Ю.
Հրապարակվել է: (Казань, КНИТУ, 2017)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Հրապարակվել է: (2011)

Проблемы микроэлектроники: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1986)

Фракталы в материаловедении: учебник
‌: Большаков В. И.
Հրապարակվել է: (Днепропетровск, ПГАСА, 2005)

Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Հրապարակվել է: (1978)

Физические фракталы; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
‌: Гусаров Д. Е.
Հրապարակվել է: (2015)

Технология, проектирование и применение микроэлектронной аппаратуры: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1979)

Основы микроэлектроники: учебное пособие
‌: Аваев Н. А. Николай Александрович
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1991)

Фракталы, хаос, рекурсия; Высшее образование сегодня; № 4
‌: Потапов А. А. Александр Алексеевич
Հրապարակվել է: (2003)

Химия. Часть 1 Учебное пособие
‌: Черемисин А. А.
Հրապարակվել է: (Норильск, ЗГУ им. Н.М. Федоровского, 2024)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
‌: Юрчук С. Ю.
Հրապարակվել է: (Москва, МИСИС, 2013)

Неорганические диэлектрики в электронной технике: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Ч. 1; Технологические основы микроэлектроники
Հրապարակվել է: (2008)

Контроль в технологии микроэлектроники
‌: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Հրապարակվել է: (Минск, Наука и техника, 1979)

Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Основы микроэлектроники: учебник
‌: Игумнов Д. В. Дмитрий Васильевич
Հրապարակվել է: (Москва, Высшая школа, 1991)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Հրապարակվել է: (2007)

Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)

Сборник научных трудов по проблемам микроэлектронике
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1979)

Межатомные взаимодействия и связь в твердых телах
‌: Вакс В. Г. Валентин Григорьевич
Հրապարակվել է: (Москва, ИздАТ, 2002)

Вып. 34; Полупроводниковая техника и микроэлектроника
Հրապարակվել է: (1981)

Основные аналоговые схемы микроэлектроники: учебное пособие
‌: Булеков В. П. Владимир Павлович
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МАИ, 1989)

Введение в теорию фракталов
‌: Морозов А. Д. Альберт Дмитриевич
Հրապարակվել է: (Москва, Институт компьютерных исследований, 2004)

Вып. 36 : Экономика и организация производства микроэлектроники; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Հրապարակվել է: (1977)