Физические основы микроэлектроники учебник для вузов

Физические основы микроэлектроники, учебник для вузов

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Марголин В. И. Владимир Игоревич
مؤلفون آخرون:	Жабрев В. А. Валентин Александрович, Тупик В. А. Виктор Анатольевич
الملخص:	Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений.
اللغة:	الروسية
منشور في:	Москва, Академия, 2008
سلاسل:	Высшее профессиональное образование. Радиоэлектроника
الموضوعات:	физические основы квантовая механика твердые тела электронные состояния вещество кристаллическое состояние аморфное состояние кристаллические решетки энергия связи молекулярные связи ионные связи ковалентная связь металлическая связь квазичастицы фуллерены углеродные соединения фрактальная геометрия фрактальная физика фракталы мультифракталы нелинейная динамика полупроводниковая микроэлектроника элементная база тонкие пленки литографические методы фотолитография рентгеновская литография электронная литография поверхностные структуры модификация диффузия лазерное легирование ионное легирование ионная имплантация термический отжиг электронная микроскопия метрология контроль учебники
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=130907

مواد مشابهة

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование учебно-справочное руководство
حسب: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
منشور في: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

Проблемы литографии в микроэлектронике
منشور في: (Москва, Наука, 1987)

Ч. 2
منشور في: (1990)

Точное машиностроение для микроэлектроники
حسب: Онегин Е. Е. Евгений Евгеньевич
منشور في: (Москва, Радио и связь, 1986)

Т. 2: Технологические аспекты
منشور في: (2011)

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
حسب: Александров В. К. Владимир Кузьмич
منشور في: (Минск, Наука и техника, 1983)

Вып. 34
منشور في: (1981)

Современные технологии в микроэлектронике электронный курс
حسب: Юрьева А. В. Алена Викторовна
منشور في: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Теоретические основы химии:
حسب: Юстратов В. П.
منشور في: (Кемерово, КемГУ, 2021)

Микроэлектроника учебное пособие
حسب: Бондарь Б. Г. Борис Георгиевич
منشور في: (Киев, Вища школа, 1981)

Химия учебное пособие
حسب: Юстратов В. П.
منشور في: (Кемерово, КемГУ, 2021)

Основы микроэлектроники учебное пособие для вузов
حسب: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
منشور في: (Москва, Связь, 1975)

Основы микроэлектроники учебник
حسب: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
منشور في: (СПб., Лань, 2008)

Технологические проблемы микроэлектроники
منشور في: (Москва, Наука, 1988)

О геометрических фракталах
حسب: Кузьминский Г.
منشور في: (2011)

Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
حسب: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
منشور في: (Москва, Энергия, 1979)

Проблемы микроэлектроники сборник научных трудов
منشور في: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1986)

Основы полупроводниковой микроэлектроники учебное пособие для среднего профессионально-технического образования
حسب: Курносов А. И. Анатолий Иванович
منشور في: (Москва, Высшая школа, 1980)

Строение атома. Химическая связь учебное пособие
حسب: Громова Е. Ю.
منشور في: (Казань, КНИТУ, 2017)

Фракталы в материаловедении учебник
حسب: Большаков В. И.
منشور في: (Днепропетровск, ПГАСА, 2005)

Неорганические диэлектрики в электронной технике сборник научных трудов
منشور في: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
منشور في: (2007)

Физические фракталы
حسب: Гусаров Д. Е.
منشور في: (2015)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
حسب: Юрчук С. Ю.
منشور في: (Москва, МИСИС, 2013)

Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники
منشور في: (1978)

Вып. 38 : Спецматериалы для микроэлектронике
منشور في: (1978)

Физико-технологические основы микроэлектроники сборник научных трудов
منشور في: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Основы микроэлектроники учебник
حسب: Игумнов Д. В. Дмитрий Васильевич
منشور في: (Москва, Высшая школа, 1991)

Фракталы, хаос, рекурсия
حسب: Потапов А. А. Александр Алексеевич
منشور في: (2003)

Контроль в технологии микроэлектроники
حسب: Колешко В. М. Владимир Михайлович
منشور في: (Минск, Наука и техника, 1979)

Сборник научных трудов по проблемам микроэлектронике
منشور في: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1979)

Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники сборник научных трудов
منشور في: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)

Основные аналоговые схемы микроэлектроники учебное пособие
حسب: Булеков В. П. Владимир Павлович
منشور في: (Москва, Изд-во МАИ, 1989)

Микроэлектронная технология и ее влияние на общество пер. с англ. сборник статей
منشور في: (Москва, Знание, 1987)

Межатомные взаимодействия и связь в твердых телах
حسب: Вакс В. Г. Валентин Григорьевич
منشور في: (Москва, ИздАТ, 2002)

Физические основы микроэлектроники сборник научных трудов
منشور في: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1986)

Основы микроэлектроники учебное пособие для вузов
حسب: Степаненко И. П. Игорь Павлович
منشور في: (Москва, Лаборатория Базовых Знаний, 2004)

Технологии электронной компонентной базы учебное пособие
حسب: Хорин И. А. Иван Анатольевич
منشور في: (Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018)

Microelectronics
حسب: Alley C. L. Charles
منشور في: (New Jersey, Prentice Hall, 1986)

Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники
حسب: Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич
منشور في: (2010)