Физические основы микроэлектроники, учебник для вузов
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Summary: | Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений. |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва, Академия, 2008
|
| Series: | Высшее профессиональное образование. Радиоэлектроника |
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=130907 |