Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов
| প্রধান লেখক: | |
|---|---|
| অন্যান্য লেখক: | , |
| সংক্ষিপ্ত: | Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений. |
| ভাষা: | রুশ |
| প্রকাশিত: |
Москва, Академия, 2008
|
| মালা: | Высшее профессиональное образование. Радиоэлектроника |
| বিষয়গুলি: | |
| বিন্যাস: | গ্রন্থ |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=130907 |