Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | , |
| Περίληψη: | Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений. |
| Γλώσσα: | Ρωσικά |
| Έκδοση: |
Москва, Академия, 2008
|
| Σειρά: | Высшее профессиональное образование. Радиоэлектроника |
| Θέματα: | |
| Μορφή: | Βιβλίο |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=130907 |