|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
130907 |
| 005 |
20231101220254.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785769542275
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\141777
|
| 090 |
|
|
|a 130907
|
| 100 |
|
|
|a 20080211d2008 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физические основы микроэлектроники
|e учебник для вузов
|f В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Академия
|d 2008
|
| 215 |
|
|
|a 400 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Высшее профессиональное образование. Радиоэлектроника
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 395.
|
| 330 |
|
|
|a Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a физические основы
|
| 610 |
1 |
|
|a квантовая механика
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные состояния
|
| 610 |
1 |
|
|a вещество
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллическое состояние
|
| 610 |
1 |
|
|a аморфное состояние
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллические решетки
|
| 610 |
1 |
|
|a энергия связи
|
| 610 |
1 |
|
|a молекулярные связи
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные связи
|
| 610 |
1 |
|
|a ковалентная связь
|
| 610 |
1 |
|
|a металлическая связь
|
| 610 |
1 |
|
|a квазичастицы
|
| 610 |
1 |
|
|a фуллерены
|
| 610 |
1 |
|
|a углеродные соединения
|
| 610 |
1 |
|
|a фрактальная геометрия
|
| 610 |
1 |
|
|a фрактальная физика
|
| 610 |
1 |
|
|a фракталы
|
| 610 |
1 |
|
|a мультифракталы
|
| 610 |
1 |
|
|a нелинейная динамика
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковая микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a элементная база
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a литографические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a рентгеновская литография
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная литография
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a модификация
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a лазерное легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a термический отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная микроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a метрология
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a учебники
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Марголин
|b В. И.
|g Владимир Игоревич
|
| 701 |
|
1 |
|a Жабрев
|b В. А.
|g Валентин Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Тупик
|b В. А.
|g Виктор Анатольевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080211
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150618
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Физические основы электроники
|
| 900 |
|
|
|a Электроника и микроэлектроника
|
| 900 |
|
|
|a Микроэлектроника
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 951 |
|
|
|b 210201
|b 210200
|
| 959 |
|
|
|a 12/20080201
|d 5
|e 0
|f ЧЗТЛ:1
|f УФ:4
|
| 959 |
|
|
|a 79/20080910
|d 5
|e 0
|f ЧЗТЛ:1
|f УФ:4
|
