Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности

Bibliographic Details
Parent link:	Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности.— 2007.— С. 79
Main Author:	Андреев А. А. Артем Андреевич
Other Authors:	Дьяченко А. Н. Александр Николаевич, Крайденко Р. И. Роман Иванович
Language:	Russian
Published:	2007
Subjects:	поликристаллический кремний кремний фторидная технология получение монокристаллы кремния труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=130767

Similar Items

Способ получения поликристаллического кремния
Published: ()

Установка для получения поликристаллического кремния
Published: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Published: ()

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Published: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Published: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Published: ()

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2013)

Фтороаммонийный способ получения солнечного кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Андреев А. А. Артем Андреевич
Published: (2008)

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Published: ()

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2009)

Радиолиз кварцевых нановключений в монокристаллах кремния; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Published: (2011)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Published: (2009)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2010)

Производство полупроводникового кремния
by: Салли И. В. Илья Васильевич
Published: (Москва, Металлургия, 1970)

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Published: ()

Получение кремния для солнечной энергетики; В мире научных открытий; № 6-1
by: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Published: (2010)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Published: (2009)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2010)

Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.08
by: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
Published: (Томск, 2014)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
by: Цивинская Ю. С.
Published: (2012)

Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.08
by: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
Published: (Томск, 2014)

Исследование влияния механической активации сырья на свойства синтезируемого высокочистого карбида кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
by: Карелин В. А. Владимир Александрович
Published: (2005)

Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.08
by: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
Published: (Томск, 2014)

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2011)

Самоформирование: теория и применение: тезисы III республиканского семинара, Вильнюс, 26-27 мая 1987 г.
Published: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)

Нелинейная оптика кремния и кремниевых наноструктур
by: Акципетров О. А.
Published: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2012)

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
by: Лапатин Л. Г.
Published: (2009)

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Published: ()

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Published: (2014)

Исследование приповерхностных слоев кремния в структурах [SIO2 -Si]; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 10
by: Кулинич О. А.
Published: (2003)

Нитрид кремния и материалы на его основе
by: Андриевский Р. А. Ростислав Александрович
Published: (Москва, Металлургия, 1984)

Карбид кремния
Published: (Киев, Гостехиздат, 1963)

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Published: (2020)

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Published: (2009)

Характеристики гигантского резонанса изотопов кремния; Известия вузов. Физика; № 3
by: Черданцев П. А. Петр Алексеевич
Published: (1966)

Фторидный способ переработки квацсодержащего сырья Приамурья до получения чистых кремнепродуктов; Фторидные технологии
Published: (2009)

Технология полупроводникового кремния
Published: (Москва, Металлургия, 1992)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
by: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Published: (2012)

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Published: ()

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Published: ()