Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом

Bibliographic Details
Parent link:	Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности: сборник тезисов докладов IV Международной научно-практической конференции; г. Томск, 7-8 июня 2007 г./ Томский политехнический университет (ТПУ); Сибирский химический комбинат. С. 79.— , 2007.— 5-98298-125-7
Main Author:	Андреев А. А. Артем Андреевич
Other Authors:	Дьяченко А. Н. Александр Николаевич, Крайденко Р. И. Роман Иванович
Published:	2007
Subjects:	поликристаллический кремний кремний фторидная технология получение монокристаллы кремния труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=130767

Similar Items