|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
130767 |
| 005 |
20240723102630.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\141636
|
| 090 |
|
|
|a 130767
|
| 100 |
|
|
|a 20080207d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом
|f А. А. Андреев, А. Н. Дьяченко, Р. И. Крайденко
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 2 назв.
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\93764
|y 5-98298-125-7
|t Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
|o сборник тезисов докладов IV Международной научно-практической конференции; г. Томск, 7-8 июня 2007 г.
|f Томский политехнический университет (ТПУ); Сибирский химический комбинат
|v С. 79
|d 2007
|p 174 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a поликристаллический кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a фторидная технология
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллы кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Андреев
|b А. А.
|c химик-технолог
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1983-
|g Артем Андреевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29528
|9 14064
|
| 701 |
|
1 |
|a Дьяченко
|b А. Н.
|c химик-технолог
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1977-
|g Александр Николаевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27691
|
| 701 |
|
1 |
|a Крайденко
|b Р. И.
|c химик-технолог
|c доцент Томского политехнического университета
|f 1983-
|g Роман Иванович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26383
|4 070
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080207
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150401
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
