|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
125169 |
| 005 |
20231031131244.0 |
| 010 |
|
|
|a 5120093345
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 88-86871
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\135444
|
| 090 |
|
|
|a 125169
|
| 100 |
|
|
|a 20071112d1988 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a UA
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Ионная имплантация и лучевая технология
|e пер. с англ.
|f под ред. Дж. С. Вильямса ; Дж. М. Поута
|
| 210 |
|
|
|a Киев
|c Наукова думка
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 359 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 327-353.
|
| 320 |
|
|
|a Предметный указатель: с. 354-358.
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-лучевая технология
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a аморфизация
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллизация
|
| 610 |
1 |
|
|a уравнения
|
| 610 |
1 |
|
|a каскады столкновений
|
| 610 |
1 |
|
|a имплантация диэлектриков
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная бомбардировка
|
| 610 |
1 |
|
|a лазерное перемешивание
|
| 610 |
1 |
|
|a высокодозовая имплантация
|
| 675 |
|
|
|a 621.359
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Вильямс
|b Дж. С.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Поут
|b Дж. М.
|4 340
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20071112
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080929
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
