Ионная имплантация и лучевая технология: пер. с англ.

Библиографические подробности
Другие авторы:	Вильямс Дж. С. (редактор), Поут Дж. М.
Язык:	русский
Опубликовано:	Киев, Наукова думка, 1988
Предметы:	ионное легирование электронно-лучевая технология полупроводники аморфизация кристаллизация уравнения каскады столкновений имплантация диэлектриков ионная бомбардировка лазерное перемешивание высокодозовая имплантация
Формат:	Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=125169

Схожие документы