Моделирование современных перспективных кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии, учебно-методический комплекс

書誌詳細
第一著者: Светухин В. В.
団体著者: Ульяновский государственный университет
その他の著者: Вострецов Д. Я.
要約:Учебно-методический комплекс содержит теоретический материал, рекомендации по проведению семинарских занятий, контрольные вопросы и задания, а также методические указания по применению технологий дистанционного обучения. В теоретической части рассматриваются вопросы, связанные с влиянием примеси кислорода на свойства кремния, используемого в современной электронной промышленности; взаимодействием атомов кислорода между собой; моделированием кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии. Предназначен для научных сотрудников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся по направлениям "Нанотехнологии", "Физика конденсированного состояния".
出版事項: Ульяновск, УлГУ, 2006
主題:
フォーマット: 図書
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=122841

類似資料