| Summary: | Учебно-методический комплекс содержит теоретический материал, рекомендации по проведению семинарских занятий, контрольные вопросы и задания, а также методические указания по применению технологий дистанционного обучения. В теоретической части рассматриваются вопросы, связанные с влиянием примеси кислорода на свойства кремния, используемого в современной электронной промышленности; взаимодействием атомов кислорода между собой; моделированием кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии. Предназначен для научных сотрудников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся по направлениям "Нанотехнологии", "Физика конденсированного состояния". |
|---|
