|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
122841 |
| 005 |
20231101215752.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\132986
|
| 090 |
|
|
|a 122841
|
| 100 |
|
|
|a 20071009d2006 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Моделирование современных перспективных кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии
|e учебно-методический комплекс
|f В. В. Светухин, Д. Я. Вострецов
|g Ульяновский государственный университет
|
| 210 |
|
|
|a Ульяновск
|c УлГУ
|d 2006
|
| 215 |
|
|
|a 108 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце разделов.
|
| 330 |
|
|
|a Учебно-методический комплекс содержит теоретический материал, рекомендации по проведению семинарских занятий, контрольные вопросы и задания, а также методические указания по применению технологий дистанционного обучения. В теоретической части рассматриваются вопросы, связанные с влиянием примеси кислорода на свойства кремния, используемого в современной электронной промышленности; взаимодействием атомов кислорода между собой; моделированием кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии. Предназначен для научных сотрудников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся по направлениям "Нанотехнологии", "Физика конденсированного состояния".
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a точечные дефекты
|
| 610 |
1 |
|
|a классификация
|
| 610 |
1 |
|
|a кислород
|
| 610 |
1 |
|
|a преципитация
|
| 610 |
1 |
|
|a фазовые переходы
|
| 610 |
1 |
|
|a метод Чохральского
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a растворимость
|
| 610 |
1 |
|
|a кислородные термодоноры
|
| 610 |
1 |
|
|a моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a семинарские занятия
|
| 610 |
1 |
|
|a контрольные вопросы
|
| 610 |
1 |
|
|a задания
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 539.2:669.7(07)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Светухин
|b В. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Вострецов
|b Д. Я.
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Ульяновский государственный университет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\10831
|9 24937
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20071009
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121020
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
