Моделирование современных перспективных кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии, учебно-методический комплекс

Bibliographic Details
Main Author:	Светухин В. В.
Corporate Author:	Ульяновский государственный университет
Other Authors:	Вострецов Д. Я.
Summary:	Учебно-методический комплекс содержит теоретический материал, рекомендации по проведению семинарских занятий, контрольные вопросы и задания, а также методические указания по применению технологий дистанционного обучения. В теоретической части рассматриваются вопросы, связанные с влиянием примеси кислорода на свойства кремния, используемого в современной электронной промышленности; взаимодействием атомов кислорода между собой; моделированием кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии. Предназначен для научных сотрудников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся по направлениям "Нанотехнологии", "Физика конденсированного состояния".
Published:	Ульяновск, УлГУ, 2006
Subjects:	твердые тела кремний точечные дефекты классификация кислород преципитация фазовые переходы метод Чохральского диффузия растворимость кислородные термодоноры моделирование семинарские занятия контрольные вопросы задания учебные пособия
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=122841

Description
Physical Description:	108 с. ил.
Summary:	Учебно-методический комплекс содержит теоретический материал, рекомендации по проведению семинарских занятий, контрольные вопросы и задания, а также методические указания по применению технологий дистанционного обучения. В теоретической части рассматриваются вопросы, связанные с влиянием примеси кислорода на свойства кремния, используемого в современной электронной промышленности; взаимодействием атомов кислорода между собой; моделированием кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии. Предназначен для научных сотрудников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся по направлениям "Нанотехнологии", "Физика конденсированного состояния".

Similar Items