Моделирование современных перспективных кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии: учебно-методический комплекс
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Körperschaft: | |
| Weitere Verfasser: | |
| Zusammenfassung: | Учебно-методический комплекс содержит теоретический материал, рекомендации по проведению семинарских занятий, контрольные вопросы и задания, а также методические указания по применению технологий дистанционного обучения. В теоретической части рассматриваются вопросы, связанные с влиянием примеси кислорода на свойства кремния, используемого в современной электронной промышленности; взаимодействием атомов кислорода между собой; моделированием кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии. Предназначен для научных сотрудников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся по направлениям "Нанотехнологии", "Физика конденсированного состояния". |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Ульяновск, УлГУ, 2006
|
| Schlagworte: | |
| Format: | Buch |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=122841 |
| Beschreibung: | 108 с. ил. |
|---|---|
| Zusammenfassung: | Учебно-методический комплекс содержит теоретический материал, рекомендации по проведению семинарских занятий, контрольные вопросы и задания, а также методические указания по применению технологий дистанционного обучения. В теоретической части рассматриваются вопросы, связанные с влиянием примеси кислорода на свойства кремния, используемого в современной электронной промышленности; взаимодействием атомов кислорода между собой; моделированием кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии. Предназначен для научных сотрудников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся по направлениям "Нанотехнологии", "Физика конденсированного состояния". |