Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем

Библиографические подробности
Главный автор: Белов И. А. Игорь Александрович
Другие авторы: Шеленкевич В. А. Владимир Александрович, Шуб Л. И. Леонид Исакович
Язык:русский
Опубликовано: Ленинград, Политехника, 1991
Предметы:
Формат: Книга
Запись в KOHA:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=119560

Схожие документы