Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем

Bibliographic Details
Main Author:	Белов И. А. Игорь Александрович
Other Authors:	Шеленкевич В. А. Владимир Александрович, Шуб Л. И. Леонид Исакович
Published:	Ленинград, Политехника, 1991
Subjects:	полупроводниковые приборы микросхемы технология гидромеханические процессы моделирование гидродинамика математическое описание расчеты изготовление
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=119560

Similar Items