Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Белов И. А. Игорь Александрович
مؤلفون آخرون:	Шеленкевич В. А. Владимир Александрович, Шуб Л. И. Леонид Исакович
اللغة:	الروسية
منشور في:	Ленинград, Политехника, 1991
الموضوعات:	полупроводниковые приборы микросхемы технология гидромеханические процессы моделирование гидродинамика математическое описание расчеты изготовление
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=119560

مواد مشابهة