Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем

Бібліографічні деталі
Автор:	Белов И. А. Игорь Александрович
Інші автори:	Шеленкевич В. А. Владимир Александрович, Шуб Л. И. Леонид Исакович
Мова:	Російська
Опубліковано:	Ленинград, Политехника, 1991
Предмети:	полупроводниковые приборы микросхемы технология гидромеханические процессы моделирование гидродинамика математическое описание расчеты изготовление
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=119560

Схожі ресурси