|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
119560 |
| 005 |
20231031124643.0 |
| 010 |
|
|
|a 5732500014
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 91-42869
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\129409
|
| 090 |
|
|
|a 119560
|
| 100 |
|
|
|a 20070716d1991 km y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
|f И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб
|
| 210 |
|
|
|a Ленинград
|c Политехника
|d 1991
|
| 215 |
|
|
|a 288 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 283-286.
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a гидромеханические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a гидродинамика
|
| 610 |
1 |
|
|a математическое описание
|
| 610 |
1 |
|
|a расчеты
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Белов
|b И. А.
|g Игорь Александрович
|4 070
|
| 701 |
|
1 |
|a Шеленкевич
|b В. А.
|g Владимир Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Шуб
|b Л. И.
|g Леонид Исакович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20070716
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140711
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
