Белов И. А. Игорь Александрович, Шеленкевич В. А. Владимир Александрович, & Шуб Л. И. Леонид Исакович. (1991). Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем. Ленинград, Политехника, 1991.
Chicago Style (17th ed.) CitationБелов И. А. Игорь Александрович, Шеленкевич В. А. Владимир Александрович, and Шуб Л. И. Леонид Исакович. Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем. Ленинград, Политехника, 1991, 1991.
MLA (9th ed.) CitationБелов И. А. Игорь Александрович, et al. Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем. Ленинград, Политехника, 1991, 1991.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.