Белов И. А. Игорь Александрович, Шеленкевич В. А. Владимир Александрович, & Шуб Л. И. Леонид Исакович. (1991). Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем. Ленинград, Политехника, 1991.
Cita Chicago (17th ed.)Белов И. А. Игорь Александрович, Шеленкевич В. А. Владимир Александрович, i Шуб Л. И. Леонид Исакович. Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем. Ленинград, Политехника, 1991, 1991.
Cita MLA (9th ed.)Белов И. А. Игорь Александрович, et al. Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем. Ленинград, Политехника, 1991, 1991.
Atenció: Aquestes cites poden no estar 100% correctes.